软件或操作杆控制自动样品台可精确测量定位，并能实现大面积测量的自动移动和拼接 功能，最大测量面积为：300mm*300mm。

MountainsMap Imaging Topography software 强大的测量和分析软件可完成所有表面分 析的要求。计算表面结构和表面粗糙度符合不同的工业标准，如：ISO25178，ISO4287， ISO13565，ISO16610 等。

由于结合了高的测量分辨率，快的测量速度和强大的分析软件使 SPA25 三维形貌仪具有 非常广的应用范围。如大面积样品的 3D 表面形貌测量，表面缺陷测量，表面结构测量， 表面粗糙度测量等。

SPA 25 使用 Mirau 干涉仪显微镜物镜。这些物镜具有不同的放大倍数，这些放大倍数会 影响 XY 尺寸的分辨率。请注意，由于利用了白光干涉测量技术，Z 维度的分辨率与放大 倍数无关。