- 自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5plus 的突出特点：
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一款全方位的3D光学测量仪
InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。
万能和高效
LED环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。
高分辨，高可重复性和可溯源
即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率
高测量速度
InfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。
模块化和可扩展性
新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合全自动
测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等
产品中心
自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5plus
集验证尺寸测量与表面处理质量测量功能于一体的光学测量仪
自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5plus 的主要技术参数：
位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：200mm×200mm×100mm
样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取决于表面结构
最大样品高度：100mm ～ 345mm
最大样品重量：30kg
最佳水平分辨率：0.44μm
最佳垂直分辨率：10nm
最大扫描高度：22.5mm
最大扩展视野范围：10000mm2
最大单一方向扫描范围：100mm
测量速度:170万个测量点/秒
最小测量高度：0.01μm
最大测量高度：22.5mm
最大测量范围：10000mm2
最大测量形貌长度：100mm
最小可重复性：0.001μm
最小测量粗糙度（Ra）：0.03μm
最小测量粗糙度（Sa）：0.015μm
最小测量半径：1μm
最小测量垂直角度：20°
最大测量倾斜角度：87°
样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取决于表面结构
最大样品高度：100mm ～ 345mm
最大样品重量：30kg
最佳水平分辨率：0.44μm
最佳垂直分辨率：10nm
最大扫描高度：22.5mm
最大扩展视野范围：10000mm2
最大单一方向扫描范围：100mm
测量速度:170万个测量点/秒
最小测量高度：0.01μm
最大测量高度：22.5mm
最大测量范围：10000mm2
最大测量形貌长度：100mm
最小可重复性：0.001μm
最小测量粗糙度（Ra）：0.03μm
最小测量粗糙度（Sa）：0.015μm
最小测量半径：1μm
最小测量垂直角度：20°
最大测量倾斜角度：87°
InfiniteFocus G5plus与InfiniteFocus G6的区别：
InfiniteFocus G5plus与InfiniteFocusG6一样，可测量微型精密部件的形状和粗糙度。两种测量仪器的最大区别在于用户软件。InfiniteFocusG6和MetMaX的测量已经根据零件的CAD模型计划好了，而InfiniteFocus G5plus的测量位置是在真实零件上定义的。
